高产能
LED晶圆划片机的技术参数
| 产能 | > 18片/时 |
| 划线深度 |
25±2μm |
| 切口宽度 | <8.0μm |
| 旋转精度 | 0.3毫弧度 |
| XY工作幅面 | 110*110mm |
| 工作台重复精度 | ±0.5μm |
| 电源 | 100-120Vac(15A);200-240Vac(7.5A),50/60Hz,单相，可靠接地 |
| 环境温度 | 20-30℃ |
| 相对湿度 | <80% |
| 晶元真空度 | 24“Hg,1.1CFM,可调节至15”Hg |
| 杂质真空度 | 26"Hg,4.5CFM,可调节至2CFM |
| 工作气压 | 30PSI,可调节至10psig至154SCSH |